發(fā)布時(shí)間：2017/08/07 10:50:57 

國(guó)內(nèi)真空設(shè)備主要有哪些？真空設(shè)備解密

按照傳統(tǒng)的劃分方式，真空設(shè)備可分為四大類，即：1.真空獲得設(shè)備、2.真空應(yīng)用設(shè)備、3.真空測(cè)量?jī)x表、4.真空配件。

1．真空獲得設(shè)備

真空獲得設(shè)備主要包括：旋片真空泵、滑閥真空泵、羅茨真空泵、蒸汽流真空泵、往復(fù)真空泵、液環(huán)真空泵、水噴射泵、水蒸氣噴射泵、分子泵、低溫泵、離子泵、干泵等等。其中又以旋片真空泵、滑閥真空泵、羅茨真空泵、蒸汽流真空泵、往復(fù)真空泵、液環(huán)真空泵這六種產(chǎn)品產(chǎn)量最大。

(1)旋片真空泵

按照我國(guó)產(chǎn)品的規(guī)格系列分類，旋片真空泵可以分為直聯(lián)泵和皮帶泵。

(2)羅茨真空泵

羅茨真空泵主要分為普通型和帶旁通閥型羅茨泵。大多數(shù)羅茨泵不能單獨(dú)使用，要與其他真空泵組成機(jī)組，才能正常工作。該泵的特點(diǎn)是啟動(dòng)快，抽氣量大，抽氣時(shí)間短，在冶金、化工、造紙等行業(yè)很受歡迎。

(3)滑閥真空泵

滑閥真空泵可分為單級(jí)和雙級(jí)兩種類型。單級(jí)滑閥泵的極限壓力一般為1 Pa左右。雙級(jí)滑閥泵的極限壓力可達(dá)到0. 06 Pa，滑閥真空泵可以單獨(dú)使用，但多數(shù)情況下與其他真空泵組成機(jī)組而廣泛用于冶金、化工、電工等行業(yè)。其特點(diǎn)是抽氣量大，運(yùn)行可靠，可抽出少量可凝性氣體。

(4)油擴(kuò)散泵

油擴(kuò)散泵可分為兩個(gè)系列，直筒型和凸腔型。直筒型的規(guī)格有K - 100、K -160、、K - 200、K- 300、K - 400、K - 600、K - 800、K - 1000、K - 1200等。凸腔型的規(guī)格有KT - 150、KT - 200、KT - 300、KT - 320、KT - 400、KT - 500、KT - 600、KT - 800、KT - 1000等。由于凸腔泵的腔體外凸增大，因此抽速比直筒泵高出30%左右。油擴(kuò)散泵與羅茨泵、旋片泵等組成機(jī)組，用于機(jī)械、冶金、薄膜等行業(yè)。其特點(diǎn)是極限壓力高，可達(dá)到1 × 10-5 Pa，沒(méi)有機(jī)械運(yùn)動(dòng)，可靠性好。國(guó)產(chǎn)油擴(kuò)散泵都存在一定的返油，易造成油污染，因此限定了它的使用條件。

(5)液環(huán)真空泵

水環(huán)真空泵是液環(huán)真空泵中的一種。它以水為介質(zhì)達(dá)到真空目的。水環(huán)真空泵的型號(hào)規(guī)格很多，有SK單級(jí)水環(huán)泵系列，2SK雙級(jí)水環(huán)泵系列，2BEI水環(huán)泵系列等等。該泵的特點(diǎn)是抽氣量大、無(wú)油污染，可抽出潮濕氣體?？梢詥为?dú)使用，也可以組成機(jī)組。水環(huán)真空泵主要用于化工化學(xué)，電站、煤礦等行業(yè)。目前國(guó)產(chǎn)水環(huán)泵逐漸向大型化發(fā)展。我國(guó)生產(chǎn)的世界上最大的800 m3/min水環(huán)泵目前已經(jīng)用于煤礦的安全生產(chǎn)。

(6)分子泵和干泵

分子泵在國(guó)外是高真空領(lǐng)域的主泵，，主要用于半導(dǎo)體、薄膜工業(yè)等。

干泵是應(yīng)半導(dǎo)體、薄膜等產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展應(yīng)運(yùn)而生。該泵可作為分子泵的前級(jí)泵，從而實(shí)現(xiàn)全無(wú)油高真空系統(tǒng)。

(7)水噴射泵和水蒸氣噴射泵

水噴射泵是一種以水作為動(dòng)力及抽氣介質(zhì)的泵，分為單噴嘴和多噴嘴。

水蒸氣噴射泵由泵體和冷凝器兩部分組成，以水蒸氣作為動(dòng)力及抽氣介質(zhì)的泵，分單級(jí)和多級(jí)。水噴射泵和水蒸氣噴射泵主要用于鋼鐵的爐外精煉。還可用于制藥、農(nóng)藥、食品、油脂、制革、環(huán)保、印染等行業(yè)。適用于蒸餾、濃縮、過(guò)濾、結(jié)晶、吸收、除氧、除臭、脫氣、三廢處理等等工藝。

(8)低溫泵

低溫泵是用低溫抽氣獲得高真空或超高真空的方法，是隨著低溫技術(shù)發(fā)展而發(fā)展起來(lái)的。主要用于半導(dǎo)體，特別是大規(guī)模集成電路、表面物理和薄膜等領(lǐng)域。

2．真空應(yīng)用設(shè)備

(l)真空鍍膜設(shè)備

按照薄膜原理劃分，可以分為濺射鍍膜、離子鍍膜、蒸發(fā)鍍膜和化學(xué)氣相沉積鍍膜。按照使用對(duì)象可以分為光學(xué)鍍膜、卷繞鍍膜、裝飾鍍膜、太陽(yáng)能集熱管鍍膜、刀具鍍膜、建筑鍍膜、導(dǎo)電鍍膜等等。

a.蒸發(fā)鍍膜設(shè)備

蒸發(fā)鍍膜設(shè)備在我國(guó)所有鍍膜設(shè)備中是最先開(kāi)發(fā)成功的鍍膜設(shè)備，蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的品種繁多，有用于鍍制光學(xué)薄膜的光學(xué)鍍膜設(shè)備，主要用于光學(xué)器件，激光器件以及微電子器件等，還有采用蒸發(fā)鍍膜原理制造的卷繞鍍膜設(shè)備，用于裝飾裝潢、電子器件包裝等各行各業(yè)。

b.濺射鍍膜設(shè)備

離子靶材，使其被濺射出來(lái)沉積到基片上形成薄膜。濺射鍍膜設(shè)備可鍍制ITO導(dǎo)電膜、介質(zhì)膜、半導(dǎo)體膜、金屬膜、磁性膜、高溫超導(dǎo)膜、單晶膜、裝飾膜等多種薄膜，如用于電子行業(yè)大規(guī)模集成電路和光盤、磁盤薄膜的鍍制。用于建筑行業(yè)的幕墻玻璃薄膜，電子行業(yè)的電容器薄膜，航空航天器中的固體潤(rùn)滑膜，能源方面的太陽(yáng)能電池，以及氣體、包裝、紅外技術(shù)等多個(gè)行業(yè)。

c.離子鍍膜設(shè)備

離子鍍膜設(shè)備可分為電弧離子鍍膜、射頻放電離子鍍膜、空心陰極離子鍍等等，離子鍍由其鍍膜原理決定了其沉積速度快，鍍層質(zhì)密，膜層附著性好等特點(diǎn)。被廣泛用于工具、模具等行業(yè)，可鍍制金屬膜、硬膜、仿金膜等等

d.化學(xué)氣相沉積設(shè)備

化學(xué)氣相沉積設(shè)備是以化學(xué)反應(yīng)的方法制膜，可用于鍍制表面保護(hù)膜以及半導(dǎo)體和電子材料。

e.離子束刻蝕設(shè)備

刻蝕作為半導(dǎo)體工業(yè)中的超精細(xì)加工技術(shù)，隨著大規(guī)模集成電路的集成度的增加而成為不可缺少的重要設(shè)備。離子束刻蝕技術(shù)與其他化學(xué)腐蝕、等離子體濺射等技術(shù)相比，對(duì)加工材料沒(méi)有選擇性、可以進(jìn)行超微細(xì)加工，能夠刻蝕非常精細(xì)的溝槽，刻蝕的圖形邊緣清晰，精確度高。離子束刻蝕設(shè)備可分為立式和臥式，國(guó)產(chǎn)設(shè)備真空系統(tǒng)主要以油擴(kuò)散泵加水冷擋板為主，國(guó)外較多采用低溫泵抽氣系統(tǒng)。

(2)真空爐

目前我國(guó)生產(chǎn)的真空爐品種繁多，大致可分為冶金爐和熱處理爐。

a.真空電阻爐

真空電阻爐是在真空條件下，利用電阻來(lái)加熱工件或材料。主要用于活潑、難溶金屬或某些磁性合金退火和真空除氣。電阻爐的種類有很多，按照不同的方式可分為立式、臥式、內(nèi)熱式、外熱式等等。

b.真空燒結(jié)爐

真空燒結(jié)爐主要用于硬質(zhì)合金、陶瓷材料、磁性材料、稀有難熔材料、金屬粉末制品、光電元件等材料的燒結(jié)處理。對(duì)于燒結(jié)處理的材料不同，真空燒結(jié)爐的種類有可達(dá)2 000℃以上的高溫?zé)Y(jié)爐和真空度較高的高真空燒結(jié)爐。

c.真空電弧爐

真空電弧爐是利用弧光放電產(chǎn)生的電弧使工件或材料執(zhí)熔?？捎糜谌蹕鍟?huì)仝銅 法滁金屬銑鋯和難溶金屬。真空電弧爐的種類可以分為自耗爐、非自耗爐及凝殼爐等等。

d.真空感應(yīng)爐

真空感應(yīng)爐是利用電磁感應(yīng)的方法將爐內(nèi)的坩堝加熱，在真空狀態(tài)下進(jìn)行金屬和合金的熔煉?？蓪?duì)精密合金、磁性材料、活性金屬和難溶金屬進(jìn)行熔煉。

e.真空釬焊設(shè)備

真空釬焊是指在真空條件下不需要焊劑進(jìn)行釬焊的方法。主要用于不銹鋼、高溫合金、硬質(zhì)合金，有色金屬，特別是含鋁、鈦較高的耐熱合金的釬焊，同時(shí)也適用于一些鋯、鈮等難溶金屬的焊接。真空釬焊對(duì)比于普通釬焊優(yōu)點(diǎn)十分明顯，如無(wú)污染、焊接變形小，焊縫質(zhì)量高，沒(méi)有焊劑對(duì)材料的腐蝕，沒(méi)有氣孔和夾渣，高效節(jié)能等等。其中的真空鋁釬焊設(shè)備主要用于鋁制板翅式熱交換器、汽車散熱器、空調(diào)蒸發(fā)器、冷凝器、雷達(dá)天線及電子通訊部件的鋁釬焊。真空釬焊設(shè)備的種類可以分為單室、雙室或立式、臥式、無(wú)氣淬、有氣淬、冷壁、熱壁等等。由于我國(guó)汽車工業(yè)的飛速發(fā)展，近幾年對(duì)真空釬焊設(shè)備的需求出現(xiàn)了較大的增長(zhǎng)。

f.真空熱處理爐

真空熱處理是指在真空條件下對(duì)金屬材料進(jìn)行的退火、回火、氣淬、消除應(yīng)力、時(shí)效、滲碳、氮化等處理。

在真空環(huán)境下對(duì)金屬進(jìn)行熱處理有許多獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)，比如熱處理后的零件表面十分光亮，同時(shí)無(wú)公害、安全、節(jié)能、增加材料的壽命、變形小，并減少了許多后續(xù)工作等等。

(3)其他真空應(yīng)用設(shè)備

除了以上提到的應(yīng)用比較廣泛的真空應(yīng)用設(shè)備-真空鍍膜機(jī)、真空爐外，真空應(yīng)用設(shè)備的種類還很多。如：真空提純、真空蒸餾、真空干燥、真空浸漬、真空澆注、真空運(yùn)輸、宇航模擬設(shè)備等等。以及近些年興起的真空食品包裝、真空冷凍干燥、真空醫(yī)療設(shè)備、太陽(yáng)能集熱設(shè)備等等。

3．真空測(cè)量?jī)x表

壓力測(cè)量?jī)x表--熱偶真空計(jì)、電阻真空計(jì)、復(fù)合真空計(jì)等。

流量測(cè)量?jī)x表--質(zhì)量流量計(jì)、浮子流量計(jì)、滴管流量計(jì)等。

檢漏儀器--氦質(zhì)譜檢漏儀、火花檢漏儀、鹵素檢漏儀等。

4．真空配件

真空閥門--擋板閥、插板閥、翻板閥、電磁閥、壓差閥、隔膜閥、球閥、微調(diào)閥等。

真空泵油--機(jī)械泵油、擴(kuò)散泵油、硅油、真空脂等。

真空管路配件--波紋管、法蘭、密封圈等。